雖然六氟化硫氣體有著良好的絕緣性和滅弧性能，已經在變電站的高壓電氣開關設備領域得到了充分的利用。但是，也具有一定的缺點，當電弧放電時，由于強烈的電弧放電會產生一些含硫的低氟化物，且對某些絕緣材料和金屬具有腐蝕作用。

由于高壓電器開關設備的制造和安裝有著一定的差異，以及使用時間過久后會出現產品材料老化的現象，因此六氟化硫高壓電氣開關設備在生產運行中存在著氣體泄漏現象，這將會影響設備的正常運行，也會給工作人員的人身安全帶來一定的安全隱患。

這種場合的六氟化硫一旦泄漏，因投運后設備在投切過程中產生的電弧將導致封閉高壓電力設備腔體內眾多氟化物、硫化物的生成。這些氟化物和硫化物絕大部分是毒性甚至劇毒的，雖然滅弧后會迅速合成還原回原有氣體，但仍有相當比重的化學混合有毒氣體產生。這些有毒氣體主要損害人體的呼吸系統，中毒后會出現類似于感冒、皮膚過敏、惡心嘔吐、疲憊等不良反應，嚴重可導致人死亡。

所以在使用六氟化硫氣體時，應特別注意對六氟化硫氣體的監測和防范。安裝六氟化硫泄漏在線監控報警系統很有必要。建大仁科RS－SF6＊－N01－2／OLED六氟化硫傳感器主要用于監測環境空氣中六氟化硫氣體含量，采用優質氣體傳感器芯片，量程為0～1000ppm，測量精度可達±3％FS以內，重復性可達2％以內。具有反應迅速靈敏、抗干擾能力強的特點，經過標準氣體標定，具有長壽命、高精度、高重復性和高穩定性的特點。