泵和電機可以從堅固的定排量齒輪泵或葉片泵到具有精細間隙 [表 1] 和高成本的精密可變排量柱塞泵。在許多情況下，泵可能是規劃過濾的關鍵因素。
9）控制放大器還含有對反應信號Uf和電壓差U的處置環節。比方狀態反應控制和PID調理等。
帶位置反應的滑閥式方向比例閥，其工作原理是:在初始狀態，控制放大器的指令信號UF=O，閥芯處于零位，此時氣源口Р與A、B兩端輸出口同時被切斷，A、B兩口與排氣口也切斷，無流量輸出，同時位移傳感器的反應電壓Uf=0。若閥芯遭到某種干擾而偏離調定的零位時，美國穆格MOOG伺服閥位移傳感器將輸出一定的電壓Uf，控制放大器將得到的U=-Uf放大后輸出給電流比例電磁鐵.電磁鐵產生的推力迫使閥芯回到零位。若指令Ue>0，則電壓差U增大，使控制放大器的輸出電流增大，比例電磁鐵的輸出推力也增大，推進閥芯右移。而閥芯的右移又惹起反應電壓ur的增大，直至Uf與指令電壓Ue根本相等，閥芯到達力均衡。此時。
Ue=Uf=KfX(Kf為位移傳感器增益)
上式標明閥芯位移×與輸入信號ue成正比。若指令電壓信號Ue<)，經過上式相似的反應調理過程，使閥芯左移一定間隔。
閥芯右移時，氣源口Р與A口連通，B口與排氣口連通;閥芯左移時，P與B連通，A與排氣口連通。節流口啟齒量隨閥芯位移的增大而增大。上述的工作原理闡明帶位移反應的方向比例閥節流口啟齒量與氣流方向均受輸入電壓Ue的線性控制。
這類閥的優點是線性度好，滯回小，動態性能高。
滑閥式二級方向伺閥
液壓伺服閥結構及工作原理
一、滑閥式伺服閥：
采用動圈式力馬達，結構簡單，功率放大系數較大，滯環小和工作行程大；固定節流口尺寸大，不易被污物堵塞；主滑閥兩端控制油壓作用面積大，從而加大了驅動力，使滑閥不易卡死，工作可靠。
噴嘴擋板式伺服閥：
該伺服閥，由于力反饋的存在，使得力矩馬達在其零點附近工作，即銜鐵偏轉角θ很小，故線性度好。此外，改變反饋彈簧桿11的剛度，就能在相同輸入電流時改變滑閥的位移。該伺服閥結構緊湊，外形尺寸小，響應快。但噴嘴擋板的工作間隙較小，對油液的清潔度要求較高。
射流管式伺服閥：
對油液的清潔度要求較低。缺點是零位泄漏量大；受油液粘度變化影響顯著，低溫特差；力矩馬達帶動射流管，負載慣量大，響應速度低于噴嘴擋板閥。
滑閥式伺服閥